极紫外光刻新技术问世能大幅提高能源效率并降低半导体制造成本极紫外光刻新技术问世能大幅提高能源效率并降低半导体制造成本_生活资讯

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2025-06-10 09:32:28

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@科技日报消息，日本冲绳科学技术大学院大学设计了一种新型极紫外（EUV）光刻技术，超越了半导体制造业的标准界限。这项技术能让光刻设备使用较小的EUV光源，降低了成本，同时提升了机器的可靠性并延长了其使用寿命，有助于推动半导体行业的可持续发展。

原标题：新型极紫外光刻技术面世超越半导体制造业标准界限

编辑：陈璐责编：周尚斗审核：冯飞

半导体 euv

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