日前，上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO已获得受理。

上证报中国证券网讯（记者 刘逸鹏）日前，上交所官网显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO已获得受理。

招股书显示，恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

如果将芯片制造比作纳米尺度的精密“版画复刻”，那么等离子体射频电源系统，就是指挥等离子体在晶圆上进行薄膜沉积、精细刻蚀的“指挥家”。其也被视作半导体设备零部件国产化最难关卡之。

据了解，半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，因此等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，并且需经过精密的校准和严格的测试流程，以保证性能的一致性和长期稳定性。

在上述严苛要求下，恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，相关产品已量产交付多家国内头部半导体设备商；并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。

招股书显示，截至2024 年末，恒运昌与部分客户已实现百万级收入的自研产品共30款，实现千万级收入的自研产品共19款。

客户的认可也直接体现在业绩上。2022年至2024年，恒运昌的营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，净利润从2639万元增长至1.43亿元。根据弗若斯特沙利文统计，2023年，恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，市场份额已位列第一。

本次冲击上市，恒运昌拟募集资金约15.5亿元，扣除发行费用后的净额拟全部用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金。