工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm 工信部新材料光刻胶工信部光刻机_生活资讯

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2025-06-21 22:51:25

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大象新闻消息，近日，工信部发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。

根据中国政府网微信公众号显示，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

而根据《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》显示，在电子专用装备目录下，集成电路设备方面：氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

原标题：工信部公布了重大技术工业设备推广目录：氟化氩光刻机

编辑：杨虹责编：张松涛审核：冯飞

氟化氩光刻机

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